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上海交通大學蔡司sigma300掃描電鏡

發(fā)表時間:2024/9/30 11:00:33

設(shè)備介紹

掃描電子顯微鏡+電子束曝光

蔡司sigma300掃描電鏡用來觀察微米及亞微米級別的導電材料的材料表面結(jié)構(gòu),用途廣泛。凝聚態(tài)方向主要用來檢查制作的微型電路,波導等材料的結(jié)果鑒定。

掃描電鏡搭載Raith電子束曝光軟件,可實現(xiàn)維型電路的設(shè)計和曝光,最大寫場1000um,最高精度100nm。

性能指標:分辨率:20nm---10kV,加速電壓:100V-30kV, 放大倍數(shù):50-500K,探測器:二次電子探測器SE2,Inlens探測器和紅外CCD相機。 

主要應(yīng)用:適用于導電材料和非導電材料表面形貌的觀察,獲得表面形貌的二次電子像。 

樣品要求:固體非粉末干燥樣品,樣品表面干凈,無油污,無磁性,且不易被磁化,樣品中不得含有鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)。高度小于20mm,直徑小于50mm。 多孔類或易潮解的樣品,請?zhí)崆罢婵崭稍锾幚怼?樣品應(yīng)具有導電性。若樣品不導電,需要進行鍍金、碳等導電膜的處理。 

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注:文章轉(zhuǎn)載于上海交通大學物理與天文學院公告平臺掃描電子顯微鏡&電子束曝光

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